该产线主要用于微型半导体芯片全自动测试。产线采用模块化的设计,由共5种不同功能的测试模块和上下料模块组成。
测试功能
◆ 电性能测试
◆ 光性能测试
◆ 热性能测试
性能特点
◆ 全自动设计,系统集成技术难度高;
◆ 采用光学定位,高效稳定,UPH>1000;
◆ 丢料率:1/5000,放料失误率:1/1000;
◆ 产线由上下料模块、测试模块(测试机柜、传输机柜)组成,可根据不同测试需求柔性组合;
◆ 复合型机械手:搭载光学定位系统、真空吸附系统、高精度定位、防呆识别、条码识别;
◆ 循环式设计,载具可在测试线中循环利用,无须人工添加;
◆ 配备风机过滤机组(FFU)可满足Class 1000 洁净室要求。