该产线主要用于微型半导体芯片全自动测试,产线采用模块化的设计,由共5种不同功能的测试模块和上下料模块组成。
较一代,该产线占地面积节省10.8%、UPH更高。
测试功能
◆ 电性能测试
◆ 光性能测试
◆ 热性能测试
结构特点
◆ 全自动设计,系统集成技术难度高;
◆ 可测试电性能、光性能、热性能等;
◆ 盲取盲放,效率更高:平均UPH:2600,最高可达3600;
◆ 丢料率:1/5000,放料失误率:1/1000;
◆ 模块化设计,产线由上下料模块(上下料通过同一组机械手完成)、测试模块组成,可根据不同测试需求柔性组合;
◆ 复合型机械手:搭载光学定位系统、真空吸附系统、高精度定位、防呆识别、条码识别;
◆ 搭载智能测试与控制、智能数据分析系统;
◆ 配备风机过滤机组(FFU)可满足Class 1000 洁净室要求。